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[期刊论文] 作者:杨尊松,王立新,肖超,宋李梅,罗小梦,李彬鸿,陆江,孙博韬,, 来源:微电子学 年份:2017
通过交流电导法,对经过不同时间N_2O快速热处理(RTP)的MOS电容进行界面特性和辐照特性研究。通过电导电压曲线,分析N_2O RTP对Si-SiO_2界面陷阱电荷和氧化物陷阱电荷造成的影...
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