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[学位论文] 作者：罗戴钟,
来源：中北大学 年份：2023
作为一种测量载体角速率的微型传感器,MEMS陀螺以其小体积、低功耗、低成本等优势,广泛应用于惯性导航、姿态控制和稳定控制平台等领域。现行主流MEMS陀螺以电容检测式为主,受寄生电容和下拉效应影响,精度已达到其极限水平,很难突破。为了进一步提升MEMS陀螺的......
[期刊论文] 作者：武绍宽,李孟委,金丽,罗戴钟,
来源：微纳电子技术 年份：2021
介绍了一种新型非谐振式微电子机械系统(MEMS)电磁振动能量采集器的设计、微加工和表征测试.该能量收集器由MEMS结构、线圈、小型化NdFeB磁体和陶瓷基板组成.建立结构模型对...
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