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[学位论文] 作者:肖祁陵,
来源:中国科学院上海光学精密机械研究所 年份:2009
薄膜应力是薄膜生产、制备中的一种普遍现象,几乎所有的薄膜都处于一定的应力状态。已有的研究表明,残余应力对薄膜的电学、力学性能、尺寸稳定性和使用寿命有着直接的影响。因......
[学位论文] 作者:肖祁陵,
来源:南昌大学 年份:2006
近年来,尽管GaN基光电子材料和器件得到迅猛发展,但对材料本身的研究还很不充分,GaN基材料生长和性能研究方面还需做大量工作,仍存在一些影响产业化的问题急需解决。目前氮化镓材......
[期刊论文] 作者:肖祁陵,徐鹏,张萌,
来源:材料导报 年份:2005
ZnO薄膜是继CaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料。针对目前对ZnO薄膜结构的分析,综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法,着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用...
[期刊论文] 作者:肖祁陵,张萌,王立,,
来源:功能材料与器件学报 年份:2006
通过对常压MOCVD工艺下制备的GaN/Al2O3两种样品的X射线衍射分析,利用不同的掠入射角及倾斜ω扫描,精确测量了GaN薄膜的晶体结构和位错密度,据此提出了一种表征薄膜纵向位错密度......
[期刊论文] 作者:何菊生,张萌,肖祁陵,,
来源:南昌大学学报(理科版) 年份:2006
比较了晶格失配度的各种定义,建议统一使用同一定义。采用简化模型系统地探讨了各种情况下半导体外延生长层和衬底的二维晶格失配度的计算,最后讨论了结合XRD衍射图谱确定失...
[期刊论文] 作者:郭孝云,肖祁陵,马昕迪,王刚,,
来源:中国科学:技术科学 年份:2020
Ti-Nb合金薄膜因其形状记忆效应和良好的生物相容性引起广泛关注.本文通过调节Ti-Nb合金薄膜中的Nb含量,实现了对薄膜表面和横截面微观形貌、晶体结构、力学性能的调控.研究发现,随着Nb含量的增加,薄膜表面微观形貌从圆整颗粒状过渡到互相交织的针叶状;晶粒从贯......
[期刊论文] 作者:肖祁陵,邵淑英,邵建达,范正修,
来源:中国激光 年份:2004
采用摩尔分数为7%的Y2O3掺杂的ZrO2混合烧结料为原料,在不同的氧分压和沉积速率下用电子柬蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锫(YSZ)薄膜样品.利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI数字波面干涉仪...
Influences of Y_2O_3 dopant content on residual stress,structure,and optical properties of ZrO_2 thi
[期刊论文] 作者:肖祁陵,邵淑英,邵建达,范正修,,
来源:Chinese Optics Letters 年份:2004
Four kinds of Y2O3 stabilized ZrO2 (YSZ) thin films with different Y2O3 contents (from 0 to 12 mol%) are deposited on BK7 glass substrates by electron-beam evap...
[期刊论文] 作者:肖祁陵,邵淑英,邵建达,范正修,
来源:ChineseOpticsLetters 年份:2009
Four kinds of Y2O3 stabilized ZrO2 (YSZ) thin films with different Y2O3 contents (from 0 to 12 mol%) are deposited on BK7 glass substrates by electron-beam evaporation method. The effects of different Y2O3 dopant contents on residual stress......
[期刊论文] 作者:肖祁陵,贺洪波,邵淑英,邵建达,范正修,,
来源:光学学报 年份:2008
采用自制掺摩尔分数12%的Y2O3的ZrO2混合颗粒料为原料,在不同的沉积温度下用电子束蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜样品。利用ZYGOMarkⅢ-GPI数字波面干涉仪对氧化钇...
[期刊论文] 作者:许程,董洪成,肖祁陵,麻健勇,晋云霞,邵建达,,
来源:中国激光 年份:2008
采用电子束蒸发(EBE)和离子束溅射(IBS)制备了不同的Ta_2O_5薄膜,同时对电子束蒸发制备的薄膜进行了退火处理。研究了制备的Ta_2O_5薄膜的光学性能、激光损伤阈值(LIDT)、吸...
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