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[期刊论文] 作者:肖纯烨,徐政,, 来源:电子与封装 年份:2007
文章讨论了等离子体损伤造成的EEPROM电路失效,从隧道氧化层质量、器件结构、PECVD、等离子体腐蚀几方面分析了工艺中造成等离子体损伤的原因。分析结论得出金属腐蚀工艺中存...
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