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[期刊论文] 作者:胡焕林,陈弘, 来源:合肥工业大学学报(自然科学版) 年份:2000
滑阀真空泵是一种容积式真空泵,在各工业领域广泛应用。但该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确计算方法。其旋转活塞产生的离心力引起发泵的大振动。因此降低该泵的振动长期以来......
[期刊论文] 作者:陈弘,胡焕林, 来源:真空 年份:2001
滑阀真空泵是一种容积式真空泵 ,在工业领域中广泛应用。该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确的计算方法 ,其旋转活塞产生的离心力引起泵的大振动。因此降低该泵的振动长期以来...
[期刊论文] 作者:胡焕林,李志远, 来源:真空科学与技术 年份:1993
机械真空泵是组成真空系统的必不可少的部分,它的振动必须严格控制,因为泵的振动不仅反映泵的设计、制造水平。过大的振动将严重影响真空系统的稳定性、限制真空系统的安装位...
[期刊论文] 作者:王旭迪,胡焕林, 来源:合肥工业大学学报(自然科学版) 年份:2001
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真 空高(≤5×10-1 Pa)和不易仿制等优点,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业 。型线部分是涡旋真空泵设计的关键,该文结合工...
[期刊论文] 作者:王旭迪,胡焕林, 来源:真空与低温 年份:1999
涡旋真空泵是一种新型的无油机械泵,它具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。作为一种高新技术产品,它不易仿制,应用前景广阔。目前在国外,仅有少数几个公司有产品问世。......
[期刊论文] 作者:王旭迪,胡焕林, 来源:真空科学与技术 年份:1999
涡旋真空泵具有简单,密封性有好,极限真空高(可达5×10^-1Pa)等优点。作为一种高新技术产品,它不易仿制,目前在国外,仅有少数几个公司有产品问世。本文从涡旋真空泵工作原理出发,研究了型......
[会议论文] 作者:王旭迪,胡焕林, 来源:华东三省一市第三届真空学术交流会 年份:2000
  本文结合工程实际需要对涡旋真空泵的理论和实际型线进行了研究,建立了型线的参数化设计模型,提高了设计效率,有利于产品的系列化。...
[期刊论文] 作者:周团团,胡焕林,孙嵩泉, 来源:合肥工业大学学报(自然科学版) 年份:2003
由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子柬辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜.文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并...
[期刊论文] 作者:严晖,胡焕林,孙嵩泉, 来源:光学仪器 年份:2004
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上...
[期刊论文] 作者:徐文兵,于振华,胡焕林,, 来源:真空 年份:2006
介绍了一种新型转子型线——偏心圆弧转子型线。该转子型线由于计算困难等原因,在国内尚未得到应用。本文对该种型线进行了分析研究并予以完善。...
[期刊论文] 作者:周团团,胡焕林,孙嵩泉, 来源:真空科学与技术 年份:2002
本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备.膜系设计中,运用反射率图解法以获得满意的光学性能;与传统的热蒸发镀膜工艺相比,在真空沉积...
[期刊论文] 作者:周团团,胡焕林,孙嵩泉,李万福, 来源:真空 年份:2002
讨论了离子束辅助沉积技术在真空沉积过程中的应用原理。通过与常规的热蒸发工艺镀制的膜层相比较 ,证实了离子束辅助沉积技术有助于提高钼酸铅晶体表面红外增透膜的膜层品质...
[期刊论文] 作者:严晖,胡焕林,孙嵩泉,李万福, 来源:真空 年份:2003
讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较 ,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的...
[期刊论文] 作者:王旭迪,张永胜,胡焕林,汪力, 来源:真空 年份:2004
介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。The...
[期刊论文] 作者:胡焕林,李玉英,刘征宇,程义然, 来源:真空科学与技术 年份:1992
油封真空泵是量大面广的真空产品,其中以旋片泵产量最大。国产旋片泵噪声偏高,其噪声问题成为真空行业亟待解决的问题之一。本文根据有关旋片泵噪声理论,运用行进测试技术对...
[期刊论文] 作者:黄长杰, 王旭迪, 汪力, 胡焕林,, 来源:真空 年份:2004
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[期刊论文] 作者:张光杰,胡焕林,戴正,杨三友,周映辉, 来源:真空 年份:1989
本文着重阐述了 2XG-4型干式真空泵研制的重大意义、泵的结构设计、旋片及密 封等材料的选用上所做的研究和试验工作,并以理想的测试结果证实了该泵设计的新颖 性和合理性。This......
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