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[期刊论文] 作者:胡舜涛,杨建树, 来源:电子显微学报 年份:1999
多层我孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用AFM对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像......
[期刊论文] 作者:胡舜涛,杨建树,袁帅,蔡群,董树忠,侯晓远, 来源:电子显微学报 年份:1999
多层多孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用AFM对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像......
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