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[学位论文] 作者：胡诗一,,
来源：湖南师范大学 年份：2015
硅是地球上储藏最丰富、使用最广泛的半导体材料,在微电子领域已有大量应用。最近二十多年来,硅材料在微机电系统中也有广泛应用,如人们研制成功各种的硅微型压力传感器、硅...
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