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[学位论文] 作者：胡铭楷,,
来源：上海交通大学 年份：2019
本文设计并利用MEMS工艺制造出一种具有高灵敏度的温度测量的声表面波传感器(SAW),并对此进行了一系列的高温RF测量表征。结果表明该传感器可以实现高达800℃的高温温度测量...
[期刊论文] 作者：邵靖, 段力, 胡铭楷, 丁桂甫, 毛成龙, 沈杰, 静波,,
来源：振动.测试与诊断 年份：2018
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感...
[期刊论文] 作者：段力,高均超,汪瑞军,胡铭楷,苏靖超,成清清,张博,袁涛,,
来源：上海交通大学学报 年份：2017
采用有限元固体热传导仿真模型分析航空发动机导向叶片表面热障涂层（TBC）的温度特性；采用工程实验的通用模型，输入因变量（Input）一仿真模型和边界条件（Process）一输出变量（Output），进行......
[期刊论文] 作者：胡铭楷,翁昊天,刘骏尘,付学成,史丽云,丁桂甫,张亚非,段力,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
设计并制作了多种声表面波(SAW)器件,并研究了设计参数与工艺参数对器件特性的影响。首先在同一块掩膜板内设计了多组不同尺寸与间距参数的SAW器件,然后用微电子机械系统(MEM...
[期刊论文] 作者：邵靖,段力,王强,郑芳芳,谢开成,王云生,陶闻钟,高均超,胡铭楷,张丛春,汪红,丁桂甫,,
来源：传感技术学报 年份：2017
航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小...
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