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[学位论文] 作者：臧会东,
来源： 年份：2007
能源问题是21世纪世界各国都非常重视的问题之一,而太阳能是取之不尽、用之不竭的、无污染、廉价、人类能够自由加以利用的能源,因此对太阳能电池的研究就成为了众多年来一个倍受关注的焦点。如何减少太阳能电池的制作成本,提高太阳能电池的转换效率也成了各个......
[期刊论文] 作者：贾翠萍,董玮,周敬然,王丹,臧会东,徐宝琨,陈维友,
来源：微细加工技术 年份：2006
利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问...
[期刊论文] 作者：贾翠萍,董玮,周敬然,刘彩霞,臧会东,玄伟,徐宝琨,陈维友,
来源：半导体学报 年份：2004
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微...
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