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[学位论文] 作者：艾治州,,
来源：西安电子科技大学 年份：2020
当今世界,气体传感器已广泛应用于国民生产和日常生活的方方面面,大到工业生产中的有毒气体、易燃易爆气体等的检测,小到家具环境中的有害气体的监测和报警、酒驾检测等,都展现出气体传感器的独特优势和巨大应用前景。相比传统陶瓷管气体传感器,基于先进MEMS技......
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