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[期刊论文] 作者:莫金玑,
来源:稀有金属 年份:1994
阐述了MESFET、HEMT和HBT等高速电子器件的MOCVD材料的研制现状,对可能存在的问题进行了讨论,同时介绍了硅上外延GaAs的新工艺及其在高速电子器件中的应用前景。......
[期刊论文] 作者:莫金玑,倪杰,
来源:上海半导体 年份:1994
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[期刊论文] 作者:莫金玑,管丽民,
来源:稀有金属 年份:1992
目前,SiH_2Cl_2作为优质源材料在外延工艺中的应用日益广泛,可用于沉积多晶硅、无定形硅和氮化硅等,是研制集成电路的一种重要材料。很多研究工作者论述了以含氮原子功...
[期刊论文] 作者:公延宁,莫金玑,
来源:功能材料与器件学报 年份:1998
C作为III-V族半导体中常用的p型掺杂剂,由于它的掺杂浓度极限高和扩散系数低,逐渐引起人们的关注,并在许多应用中显示出潜力而有望代替常规的p型掺杂剂,如Zn和Be,根据近期研究成果,对采用MOVPE技术生......
[期刊论文] 作者:公延宁,莫金玑,
来源:半导体学报 年份:2000
从固态组分控制方面,对AlGaAs的常压金属有机物气相外延(AP-MOVPE)生长技术进行了研究。首先,在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下,经理论推导,给出了AlGaAsAP-MOVPE生长过程中控制参数和Al在固、气相间的分......
[会议论文] 作者:公延宁;莫金玑;,
来源:第六届全国固体薄膜学术会议 年份:1998
文本以常压MOCVD(AP-NOCVD)系统为对象、分析了AlCaAs生长过程中控制多数对气相Al组分含量量XAl和固相Al组分含量X之间关系的影响。结果表明,在采用AP-MOCVD系统生长AlCaAs时,在...
[期刊论文] 作者:彭瑞伍,莫金玑,
来源:固体电子学研究与进展 年份:1982
——本文概述了近年来Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的外延,特别是有关电外延,金属有机化合物和分子束外延的国内外发展动态及其应用;同时也简要地介绍了Ⅲ-Ⅴ族化合物外延的物理化学....
[期刊论文] 作者:赵彭年,莫金玑,
来源:金属学报 年份:1965
采用气流输运法测定了720,750及780℃时液态纯Sb及Ga-Sb合金中组分Sb的蒸气压。由蒸气压的实验数据和Ga-Sb系的T-X相图构成了Ga-Sb系中Sb蒸气压的P-T图。The vapor pressur...
[期刊论文] 作者:赵彭年,莫金玑,,
来源:科学通报 年份:1963
磷化硼是有希望的高温半导体材料之一。因此,在其制备和半导体性质等方面的研究,吸引了许多研究工作者的注意。而高温时,此化合物的稳定性则很少有人研究。如所周知,磷化物...
[期刊论文] 作者:公延宁,莫金玑,夏冠群,
来源:功能材料与器件学报 年份:1998
C作为II-V族半导体中常用的p型掺杂剂,由于它的掺杂浓度极限高和扩散系数低,逐渐引起人们的关注,并在许多应用中显示出潜力而有望代替常规的p型掺杂剂,如Zn和Be。根据近期研究成果,对采用MOVPE技术......
[期刊论文] 作者:莫金玑,管丽民,汪光裕,
来源:稀有金属 年份:1992
目前,SiH_2Cl_2作为优质源材料在外延工艺中的应用日益广泛,可用于沉积多晶硅、无定形硅和氮化硅等,是研制集成电路的一种重要材料。很多研究工作者论述了以含氮原子功能团...
[期刊论文] 作者:莫金玑,郑燕兰,江文达,
来源:稀有金属 年份:2004
用AsCl_3-Ga-H_2体系生长GaAs气相多层外延材料。研究了一些生长参数对缓冲层中Ec-0.82eV深中心密度n_T的影响,讨论有源层和缓冲层之间的界面特性以及有关在微波器件中的应用...
[期刊论文] 作者:莫金玑,郑燕兰,沈德新,
来源:稀有金属 年份:1987
本文采用氯化物法In-Ga-AsCl_3-H_2体系进行InGaAs/InP的异质气相外延研究。对采用In/Ga混合源和铟、镓的独立金属源的外延体系进行了比较。采用尽可能大的In(InAs)面积并降...
[期刊论文] 作者:公延宁,莫金玑,余海生,夏冠群,
来源:半导体学报 年份:2000
从固态组分控制方面,对AlGaAs 的常压金属有机物气相外延(AP-MOVPE)生长技术进行了研究.首先,在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下,经理论推导,给出了AlGaAsAP-MOVPE生长过程中控制参数和Al在固、气相间的分......
[期刊论文] 作者:公延宁,汪乐,莫金玑,夏冠群,
来源:太阳能学报 年份:1999
由p+-GaAs帽层和p-AlxGa1-xAs([email protected])窗口层构成的异质薄膜体系是GaAs太阳电池器件中的常规结构.对该异质结构的只腐蚀GaAs而不腐蚀AlGaAs的选择性腐蚀工艺是GaAs太阳电...
[期刊论文] 作者:公延宁,莫金玑,余海生,汪乐,夏冠群,
来源:Rare Metals 年份:1999
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