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[学位论文] 作者:蒋坤月, 来源:华中科技大学 年份:2021
为了满足HUST-UED分辨率对电子束品质的要求,束流传输系统以尽可能小的束团发射度、束斑尺寸和轨道偏差为目标进行设计。由于受电子枪的微波电场力等作用,电子束团在离开电子枪后发射度会增长,需要螺线管对束团进行聚焦,达到补偿发射度目的;同时在束流传输中不......
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