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[学位论文] 作者:蒋春磊, 来源:中国科学院大学 年份:2014
近年来,5d过渡族金属硼化物(ReB2、 OsB2、 IrB、WB2、 WB4等)作为超硬材料得到了人们的广泛研究。目前实验中发现了两种不同晶体结构的WB2相,分别为AlB2型WB2和WB2型WB2。对于...
[期刊论文] 作者:石磊,蒋春磊,唐永炳,, 来源:集成技术 年份:2017
基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛。文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同厚度的钛(Ti)和氮化钛(TiN)薄膜,研究了薄膜...
[期刊论文] 作者:王陶,蒋春磊,唐永炳,, 来源:集成技术 年份:2017
金刚石涂层硬质合金是一种出众的刀具材料,将碳化硅掺入金刚石涂层中不仅可以提高涂层的断裂韧性,还能够提高薄膜与基体之间的粘附性。文章采用氢气、甲烷和四甲基硅烷混合气...
[期刊论文] 作者:石磊, 蒋春磊, 牛卉卉, 唐永炳,, 来源:集成技术 年份:2004
文章采用微波等离子体化学气相沉积法,以单晶金刚石籽晶为衬底进行金刚石外延生长,通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及光学显微镜等多种表征测试手段,系统地研究了衬底温度对单...
[期刊论文] 作者:石磊,蒋春磊,陈光海,唐永炳,, 来源:集成技术 年份:2017
热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数,也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据。文章基于热诱导弯曲原理,分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜...
[会议论文] 作者:刘艳明;蒋春磊;裴志亮;雷造;宫骏;孙超;, 来源:第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 年份:2014
  本文采用YG8(WC-Co)硬质合金为基体,用直流磁控溅射的方法制备了不同偏压下的AlB2-type WB2硬质薄膜.采用X射线衍射(XRD),电子探针(EPMA),场发射扫描电镜(FESEM),原子力...
[期刊论文] 作者:谷继腾,杨扬,蒋春磊,石磊,牛卉卉,唐永炳, 来源:集成技术 年份:2017
针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘结构设计方法.基片托盘中间采用通孔结构,以...
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