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[学位论文] 作者：蔡豪刚,,
来源： 年份：2009
基于微机电系统(MEMS)的惯性开关,又称为加速度开关、碰撞开关,作为一种典型的惯性传感器,已成为近年来国内外MEMS领域的研究热点。MEMS惯性开关相对于传统机械加工的器件而...
[期刊论文] 作者：张丹,丁桂甫,蔡豪刚,,
来源：微细加工技术 年份：2007
用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术.该工艺具有工艺流程简单、牺牲层易获取、释放简单、腐蚀选择性好、...
[期刊论文] 作者：蔡豪刚,杨卓青,丁桂甫,刘瑞,,
来源：机械工程学报 年份：2009
以非硅表面微加工技术为基础，在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统（Micro clectro—mechanical system，MEMS）惯性电学开关。该设计采用...
[会议论文] 作者：杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,赵小林,
来源：2007年上海市电子电镀学术年会 年份：2007
用电镀方法制作好的封装壳具有较厚的结构高度,对封装后并在6个大气压下灌封了的微开关进行了50g加速度下的落锤实验,结果表明灌封后的器件仍能正常工作,其响应时间约为0.3ms...
[期刊论文] 作者：周镇威,杨卓青,蔡豪刚,丁桂甫,,
来源：传感技术学报 年份：2010
针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础...
[期刊论文] 作者：杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,付世,赵小林,,
来源：机械强度 年份：2008
设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS（micro-electro-mechanical system）惯性开关，应用ANSYSIO．0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析，得到其在动载荷...
[期刊论文] 作者：杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,付世,赵小林,
来源：功能材料与器件学报 年份：2008
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而...
[期刊论文] 作者：杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,刘瑞,赵小林,,
来源：中国机械工程 年份：2008
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动...
[期刊论文] 作者：蔡豪刚, 丁桂甫, 杨卓青, 周镇威, 汪红,,
来源：振动与冲击 年份：2009
基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中...
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