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[期刊论文] 作者：王丹,张宗波,王晓峰,薛锦馨,徐彩虹,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
聚硅氮烷作为旋涂介电层的基础材料,可通过旋涂法、特定条件下转化来制备SiO2介电层,工艺简单,介电层性能优异,有望克服传统化学气相沉积方法的缺点,在微电子领域具有重要的...
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