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[期刊论文] 作者：舒继千,魏昕,袁艳蕊,,
来源：工具技术 年份：2009
游离磨料多线切割技术具有切割效率高、切口材料损耗小、表面损伤程度浅、切割噪声小等优点，能满足晶圆大直径化发展的加工需求。但游离磨料线切割技术发展历史短，目前还缺乏对......
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