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[学位论文] 作者：解家男,
来源： 年份：2015
精密定位驱动技术是实现精密制造和精确测量的重要途径,在航空航天、武器系统、微机械制造、集成电路、超精密加工、半导体技术、微电子封装(SMT)、生命与医疗科学等领域具有广泛的应用需求。精密定位驱动技术的实现依赖于智能驱动材料与弹性支撑结构的集成设计......
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