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[期刊论文] 作者:许德洪,, 来源:工业水处理 年份:2010
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比。同时,还详细介绍了...
[期刊论文] 作者:许德洪,, 来源:科技创新与应用 年份:2015
文章通过对供水系统中的工频泵和变频泵的分析,阐述了通过变频器实现变频泵与工频泵有机结合的重要性,既保证了供水系统的安全性,又实现了供水系统的节能效果。...
[期刊论文] 作者:张殿朝,许德洪,张志强,赵传健,, 来源:天津科技 年份:2016
通过对FDQ-100型水电解制氢设备控制系统进行升级改造,将原有气动控制升级为PLC软件控制,配备上位机显示及远程控制,可同时显示系统运行情况、报警点位,并绘制系统运行压力、温度......
[期刊论文] 作者:李响,杨洪星,于妍,许德洪,, 来源:半导体技术 年份:2008
介绍了半导体材料SiC抛光技术的发展及直接影响器件成品率的衬底材料几何参数和表面质量因素。讨论了SiC化学机械抛光方法(CMP),包括磨削、粗抛和精抛三个过程,其中粗抛又分重压......
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