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[期刊论文] 作者：许淡清, 于映,,
来源：福州大学学报(自然科学版) 年份：2009
分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻分割聚酰亚胺(PI)牺牲层、分层生长氮化硅薄...
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