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[期刊论文] 作者：赵倩,林启民,谢程超,杨越,,
来源：内蒙古科技大学学报 年份：2016
利用台阶仪、X-射线衍射仪分别研究了薄膜厚度及物相.实验结果表明：随着靶基距的减小,薄膜的厚度增加,而对于纯TiO_2主峰的衍射峰强度增加;除了靶基距为4 cm的薄膜中有锐钛矿...
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