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[学位论文] 作者:谭秀颖, 来源:北京大学 年份:2007
随着电子设备的日益信息化、智能化、微型化,电子系统都在向着高性能、低成本、低功耗的方向发展。在未来的通信系统里,高Q值的谐振器、滤波器需求极大。射频微机械谐振器与滤......
[期刊论文] 作者:王蕴达,蔡明,谭秀颖,陈兢, 来源:测试技术学报 年份:2008
针对用电容式射频微机械谐振器芯片级测试时信号微小、寄生效应严重、从而使得激励和检测困难的问题,本文对基于固支梁的微机械谐振器的电学测试理论和技术进行了研究.利用机电......
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