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[期刊论文] 作者:杜康,徐伟,吴智量,贺中信,彭军,,
来源:真空与低温 年份:2009
在自行设计的直接耦合石英管式微波等离子体化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来约束等离子体,使等离子体球成为“碟盘”状,...
[期刊论文] 作者:杜康,徐伟,吴智量,贺中信,彭军,
来源:甘肃联合大学学报:自然科学版 年份:2009
利用实验室自行设计了直接耦合式微波等离子体化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜装置,并在石英管反应腔加上磁镜场来更好的约束等离子体,使等离子体球成为“碟......
[期刊论文] 作者:杜康,徐伟,吴智量,贺中信,彭军,
来源:真空电子技术 年份:2009
在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来更好地约束等离子体,使等离子体球成为“碟盘”状,提高了等离子体球的密度,在基本参数:反应压力2.5......
[期刊论文] 作者:杜康,徐伟,贺中信,吴智量,彭军,
来源:光学仪器 年份:2009
运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品。研究了甲烷...
[期刊论文] 作者:杜康,徐伟,贺中信,吴智量,彭军,
来源:光散射学报 年份:2009
利用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品。研究了氢气浓度对所沉积金刚石膜色度的影响。结果表明,饱和纯度......
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