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[学位论文] 作者：赵久烜,,
来源： 年份：2016
本论文提出了一种带有柔性微杠杆的MEMS谐振式电荷传感器,包括理论分析、仿真优化、加工和实验验证。传感器基于DETF (Double-ended Tuning Fork)谐振器,谐振器工作在反向谐...
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