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[期刊论文] 作者：何焕南,赵关弟,
来源：分析试验室 年份：1985
无论是半导体材料或纯金属,在制备和加工过程中都不可避免与气体接触,因此甚至在超纯材料中也会有痕量气体。本文论及的气体除氢、氧、氮外还包括碳,这些元素对材料的物...
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