搜索筛选:
搜索耗时0.1061秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 6 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：赵大博,
来源：天津大学 年份：2007
近年来,随着微米/纳米加工技术的迅速发展,对加工过程中几何量的检测手段提出了更高的要求。传统坐标测量机测量不确定度在微米级,已经不能满足上述需求。因此,具备纳米级分...
[期刊论文] 作者：李源,栗大超,胡小唐,赵大博,傅星,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2007
提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型,用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布,分布曲线与理论曲线......
[期刊论文] 作者：李源,邵力,栗大超,胡小唐,赵大博,,
来源：计量学报 年份：2008
针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统（MEMS）三维微触觉式传感器，开展了传感器的性能测试，系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号，提出了敏感梁上排布16个压阻......
[期刊论文] 作者：赵大博,栗大超,李源,傅星,胡小唐,,
来源：传感技术学报 年份：2006
针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控......
[期刊论文] 作者：徐临燕,栗大超,邱晗,胡小唐,赵大博,,
来源：光电子.激光 年份：2008
为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性，建立了测试中的关键模型：静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型，以及静电激励纳米梁谐振器在......
[期刊论文] 作者：李源,栗大超,胡小唐,赵大博,郭彤,陈津平,,
来源：传感技术学报 年份：2006
为了提高MEMS微接触式测头的性能，系统开展了测头的结构设计和参数优化．根据测头结构各个部分的设计目标，提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案．基于测头结构的力学模型，提出了结......
相关搜索：
