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[期刊论文] 作者：杭芹,程成,袁彪,赵洪坪,吕雪,张恒,
来源：电子测量与仪器学报 年份：2023
针对芯片缺陷检测中，缺陷尺寸跨度大、特征相似、小目标难识别、漏检等问题，本文提出基于YOLOv5改进的缺陷检测方法。针对小目标缺陷检测中出现的漏检、误检等问题，提出新增小目标特征检测器（small target feature detector， S-Detector），提升模型对小目标缺陷的学习能......
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