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[期刊论文] 作者：涂云婷, 崔峰, 赵韦良,
来源：微纳电子技术 年份：2022
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围，设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统（MEMS）流速传感器，它是由一对加热电阻（也可作为测温电阻）、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研......
[期刊论文] 作者：冯剑玮,崔峰,涂云婷,赵韦良,,
来源：半导体光电 年份：2021
针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了一种基于非晶锗(a-Ge)薄膜热电阻的低功耗、宽量程柔性MEMS流速传感器。非晶锗热电阻材料具有较高的TCR系数(约为-0.02/K)和室温电阻率(5Ω·m),传感器在......
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