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[期刊论文] 作者：钟耕杭,宁永铎,王新,路一辰,周旗钢,李耀东,,
来源：稀有金属 年份：2018
抛光后的局部平整度(SFQR)参数是表征硅片抛光质量的重要指标之一,也是抛光过程较难优化的几何参数之一。分析了不同的化学腐蚀处理对抛光后局部平整度的影响。实验结果表明,...
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