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[期刊论文] 作者：邬纪泽,,
来源：光学仪器 年份：1992
中科院光电技术研究所为满足我国机电一体化和传统机床改造的需要,先后开发了SX-5和SX-6两个系列长光栅线位移数字测量系统。该系统由长光栅线位移传感器和光栅数显表组成。...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,,
来源：光学工程 年份：1980
前言中国科学院“大规模集成电路工艺、材料和设备考察团”于1979年5月21日至6月18日到美国参观考察,历时28天。考察团先后参观了美国西部和东部微电子学的工艺企业、大...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,
来源：LSI制造与测试 年份：1990
...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,
来源：四川激光 年份：1982
中国科学院光电技术所于1978年承担了两项为发展我国大规模集成电路（LSI）用的关键工艺设备的研制任务。经过三、四年的努力，已先后胜利完成研制工作。继1981年7月在北京通过了性......
[期刊论文] 作者：邬纪泽,
来源：电子工业专用设备 年份：1990
我国在DSW投影光刻机研制中,一台后起之秀在中科院光电技术研究所(成都)脱颖而出。1990年3月12～13日在成都由中国科学院召开该机研制评议会。邀请了国家科委、机械电子部、丰...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,,
来源：光学仪器 年份：1992
将研究所推向市场,为国民经济和商品经济服务,已成为光学领域研究所的生存和发展的关键。中科院光电技术所光学元件厂瞄准市场需求,近几年开发出高级消象差珠宝放大镜、显微...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,,
来源：光学仪器 年份：1992
中国科学院光电技术研究所承担的SJB-1型扫描式激光标记机,不久前研制成功并通过技术鉴定。该机为与哈尔滨轴承厂合作推广应用项目,已列入哈轴厂1992年重大技术改造计划。现...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,,
来源：光学仪器 年份：1992
受成都无缝钢管厂委托,由中科院光电技术所研制成功的热轧无缝钢管外径在线测量仪,于不久前交付用户验收使用。由于轨钢车间现场环境十分恶劣,处于高温、高湿、振动、噪声以...
[期刊论文] 作者：姜文汉,邬纪泽,,
来源：光学工程 年份：1981
目录前言一、研制技术要求二、整机概况三、主要部分技术性能 (一) 曝光系统 1.多点尤源照明系统 2.照明均匀性Table of Contents Preface First, the development of tec...
[期刊论文] 作者：邬纪泽,苗资生,
来源：电子工业专用设备 年份：1991
本文结合掩模缺陷自动检测系统的精密扫描工件台的特点,采用CAD技术对其动态特性进行实验模态分析,给出该系统的实验结果和识别的模态参数。...
[期刊论文] 作者：马国欣,邱胜宝,向鹏,邬纪泽,
来源：真空电子技术 年份：2010
利用表面等离子共振（SPR）技术进行生物化学分析和检测,具有前处理简单、无需标记、灵敏度高以及实时、连续监测动态反应过程等特点。本文介绍了表面等离子共振传感器的基本类型......
[期刊论文] 作者：马国欣,向鹏,邱胜宝,邬纪泽,,
来源：真空电子技术 年份：2009
化学气相沉积（CVD）方法是金刚石（膜）制备的主流技术，经过多年的发展，已从最初的微米金刚石膜发展到纳米金刚石膜，至目前高质量的单晶金刚石，应用领域不断扩展。除了工业和民用领域外，......
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