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[会议论文] 作者：邬钦崇,
来源：95等离子体与材料表面改性学术讨论会 年份：1995
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[期刊论文] 作者：胡海天,邬钦崇,
来源：真空科学与技术 年份：1997
基于微波电子回肇共振（ＥＣＲ）等离了体中的物理和化学性质变化会引起微波传输线阻抗的变化，采用微波三探针研究了ＥＣＲ等离子体的微波阻抗随装置运行参数的变化情况，并通过一个简单的放电等......
[期刊论文] 作者：汪建华,邬钦崇,
来源：半导体技术 年份：1999
蒋磁控管方式溅射用于微波ＥＣＲ等离子体沉积技术。在低气压和下沉积了高度Ｃ轴取向的ＺｎＯ薄膜，其膜的沉积速率比普通ＣＥＲ溅射中所得到地速率大得多，并且在Φ１２ｃｍ的膜区域内显示出良好的均匀性。......
[期刊论文] 作者：程健,邬钦崇,
来源：真空 年份：1996
本项工作是配套“８６３”项目金刚石镀膜装置而进行的，由于沉积金刚石膜的时间长达几十个小时，真空室真空度的稳定性对膜质量的好坏有很大的影响，所以保持真空度的稳定将成为一个关键......
[期刊论文] 作者：胡海天,邬钦崇,
来源：材料保护 年份：1996
对微波等离子体源和常规等离子体源进行了对比，分析了微波等离子体源应用于离子氮化的优越性，报道了微波等离子体在钢表面氮化中的应用．...
[期刊论文] 作者：汪建华,邬钦崇,
来源：华中理工大学学报 年份：1999
研制了一台高速率溅射的ＥＣＲ等离子体沉积装置。采用微波真空波导及反常模式或输入技术，利用腔内双靶构成的电场镜，使高能γ电子在电场镜中振荡，从而获得高密度的等离子体。并且，导电......
[期刊论文] 作者：舒兴胜,邬钦崇,
来源：真空电子技术 年份：2000
根据磁控管的工作特性,分析了影响磁控管微波功率源输出功率的因素,提出了控制工作磁场稳定微波输出功率的措施,并给出了相应的实施方案,实验结果表明该方案是可行的。...
[期刊论文] 作者：刘明海,邬钦崇,
来源：上海环境科学 年份：1999
概述了臭氧在环境保护中的重要作用，介绍了臭氧发生器应用现状及其处理技术的进展，强调了高效臭氧发生器在废水处理中的现实意义。...
[期刊论文] 作者：苏小保,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1997
研制了一种新的大面积微波等离子体源。由不形波导腔环绕直径３０ｃｍ、高５０ｃｍ耐玻璃圆筒真空室构成。环形波导内侧开有多个狭缝用来激励产生等离子体。利用该源研究了气压对等离子体参数......
[期刊论文] 作者：吕庆敖,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1997
微波等离子体化学沉积是制备金刚石膜的一种重要方法，用简单实验方法给出了ＭＰＣＶＤ装置中微波模式转换，微波与等离子体耦合等工作原理，短形波导中的ＴＥ１０模式经微波模式转换器转变为同轴线中......
[期刊论文] 作者：苏小保,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1997
采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体特性的和实现快速阻抗调配。...
[期刊论文] 作者：俞世吉,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1998
利用石英钟罩式波等离子体化学气相沉积（ＭＷ－ＰＣＶＤ）实验装置研究了不同沉积气压对金刚石薄膜沉积结果的影响，扫描电子显微镜（ＳＥＭ）显微形貌观察及喇曼光谱（ＲＡＭＡＮ）分析表明沉积气压的提高有利于改善ＭＷ－ＰＣＶＤ制备......
[期刊论文] 作者：舒兴胜,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：2001
微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）是制备金刚石膜的一种重要方法。为了获得金刚石膜的高速率大面积沉积，研制成功了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜的装置，装置在微波输入功率为......
[期刊论文] 作者：吕庆敖,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1998
微波等离子体化学气相色沉积（ＭＰＣＶＤ）是制备金刚石薄膜的一种重要方法，为了获得金刚石薄膜的高速率大面积沉积，在国内首次研制成功了５ｋＷ带有石英真空窗的天线耦合水冷却不锈钢反应室式ＭＰＣＶＤ装置......
[期刊论文] 作者：王守国,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1997
研制出磁控超声速非转移直流等离子体电弧设备。获得电弧长度为４００ｍｍ最大直径约为６０ｍｍ十分稳定的等离子体电弧。并用朗缪尔静电探针测量了电弧等离子离子体参数。...
[期刊论文] 作者：王守国,邬钦崇,
来源：真空与低温 年份：1998
利用磁约束直流等离子体炬设备的和Ａｒ＋Ｈ２＋ＣＨ４混合气体，在喷出的电弧侧面的无水冷的ＡｌＮ（氮化铝陶瓷）衬底上，成功的制备出金刚石薄膜，使用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｒｍａｎ光谱研究了金刚石薄膜形貌，生......
[期刊论文] 作者：俞世吉,邬钦崇,
来源：真空科学与技术 年份：2000
在石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积实验装置中研究了基片位置对金刚石薄膜沉积质量的影响。扫描电子显微镜显微形貌观察和激光喇曼谱分析表明，对微波等离子体化学气相沉积......
[期刊论文] 作者：苏小保,邬钦崇,
来源：真空科学与技术 年份：1999
采用不同气氛等离子体处理ＰＴＦＥ／陶瓷复合介质材料，利用ＸＰＳ分析了处理样品表面成分的变化，发现等离子体处理导致表面Ｆ的含量降低和Ｏ的含量增加。高分子表面出现了不同成分的含氧基团，且随着......
[期刊论文] 作者：俞世吉,邬钦崇,
来源：真空科学与技术 年份：1998
利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置，研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响。通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明，基片预处理......
[期刊论文] 作者：苏小保,邬钦崇,
来源：真空科学与技术 年份：1998
介绍了环形狭缝波导天线等离子体源的原理和结构。采用微波单探针测量了无等离子体情况下环形波导狭缝天线内的电场分布，利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测量了该源的氩等离子体的特性，结果 微波功......
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