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[期刊论文] 作者：亢喆,邱国臣,,
来源：激光与红外 年份：2014
研究了一种基于在锑化铟衬底材料上以热扩散工艺制备平面PN结的红外焦平面阵列（IRFPA）探测器芯片结构及其工艺流程。根据锑化铟材料的特性设计了新的焦平面器件制备流程,选择了......
[期刊论文] 作者：亢喆, 曹海娜, 邱国臣, 肖钰,,
来源：电子器件 年份：2019
设计了一种专门用于锑化铟红外探测器器件工艺中钝化前的脱水处理工艺技术。包含脱水、干燥和表面处理等一系列的工艺步骤,可作为基于锑化铟材料的焦平面红外探测器器件中钝...
[期刊论文] 作者：温涛,龚志红,邱国臣,亢喆,
来源：红外 年份：2020
锑化铟红外焦平面器件在杜瓦测试中常常会出现信号分层问题,由此影响器件制造的成品率。通过对器件杜瓦测试电平图、管芯电流电压测试结果及衬底掺杂浓度进行研究,找到了导致...
[期刊论文] 作者：李忠贺,李海燕,杜红燕,亢喆,邱国臣,,
来源：激光与红外 年份：2015
研究了基于Be离子注入技术的平面型和Cd扩散技术的台面型锑化铟红外焦平面阵列（IRFPA）探测器芯片工艺流程。并进行了芯片I-V、成像结果等对比测试,Be离子注入平面型器件和扩散...
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