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[期刊论文] 作者：邱显涛,
来源：现代制造 年份：2013
随着我国的工业化提速以及人口红利逐渐消失，矛盾日益凸显，工业对于自动化的要求越来越高。现在欧美日等发达国家对于自动化的依赖程度相当高，这不是主观上的要求，而是客观上人类......
[期刊论文] 作者：邱显涛,陈吉安,,
来源：微细加工技术 年份：2006
提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器,阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程,并利用MEMS技术制作了传感器样品,同时在-60 ℃～90 ℃、氢气浓度为0.5%～10%...
[期刊论文] 作者：周业成,陈吉安,张晓晶,邱显涛,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2006
现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成，但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点。介绍一种基于MEMS工艺的......
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