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[期刊论文] 作者：有洪星,刘光廷,简耀光,邵子为,
来源：半导体技术 年份：1988
本文用俄歇电子能谱(AES)证明了铝原子在多晶硅晶粒间界分凝的现象,并研究了多晶硅的势垒电阻、少子寿命和霍耳迁移率.实验结果表明:铝原子的晶粒间界分提与铝原子的性质、铝...
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