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[学位论文] 作者：邵秀锋,
来源：上海交通大学 年份：2020
微驱动器作为MEMS器件的重要组成环节,在通信、医疗、航空等各方面的应用前景都非常广泛。相较于静电驱动、热驱动等驱动方式,微电磁驱动由于具有工作行程大、驱动电压低、响应快、输出力大等优点而备受青睐,也将在未来自动驾驶、万物互联的智能时代扮演更加重......
[期刊论文] 作者：邵秀锋,赵小林,戴旭涵,唐智勇,黄建泽,丁桂甫,
来源：传感技术学报 年份：2020
平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一...
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