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[学位论文] 作者：邹圣莉,
来源：北京化工大学 年份：2009
随着科学技术的高速发展，微米技术已经越来越满足不了当今器件高集成、低功耗、小尺寸的需求。随着器件集成度的提高，要求器件的特征尺寸减少。而由于量子隧穿效应，特征尺寸在25......
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来源：北京化工大学 年份：2009
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