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[期刊论文] 作者:张京俊,邹秋芝, 来源:电子工艺技术 年份:1994
介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O一SIPOs)及掺氮半绝缘多晶硅(N一SIPOS)薄膜的制备方法,生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步......
[期刊论文] 作者:张京俊,邹秋芝, 来源:半导体技术 年份:1994
介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O-SIPOS)及掺氮半绝缘多晶硅(N-SIPOS)薄膜的制备方法、生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步分......
[期刊论文] 作者:张京俊,邹秋芝,邓子龙,陶广斌,吕秀昭, 来源:电子工艺技术 年份:1994
介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O一SIPOs)及掺氮半绝缘多晶硅(N一SIPOS)薄膜的制备方法,生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步......
[期刊论文] 作者:张京俊,邹秋芝,邓子龙,陶广斌,吕秀昭, 来源:半导体技术 年份:1994
介绍了掺氧半绝缘多晶硅(O-SIPOS)及掺氮半绝缘多晶硅(N-SIPOS)薄膜的制备方法、生长条件及其在高可靠大功率开关三极管3DK106中的应用,以及主要电参数的测试结果,并且对本工艺所带来的特点进行了初步分......
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