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[学位论文] 作者:郑小婵,, 来源:浙江大学 年份:2014
晶体硅是信息产业重要的基础材料,然而晶体硅是间接带隙半导体,其在250nm-2500nm波段范围内的光反射率高达30%以上,并且禁带宽度较大(1.12eV),很难吸收波长大于1.1μm的光波,...
[会议论文] 作者:郑小婵,王德苗, 来源:第九届华东三省一市真空学术交流会 年份:2015
分别在SF6和空气环境下,使用波长1064nm的半导体端面泵浦微秒脉冲激光器作为光源扫描辐照单晶硅表面,制备出"黑硅"材料.扫描电子显微镜的测量结果显示在SF6氛围中得到的微结...
[会议论文] 作者:郑小婵,王德苗, 来源:第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会 年份:2017
分别在SF6和空气环境下,使用波长1064nm的半导体端面泵浦微秒脉冲激光器作为光源扫描辐照单晶硅表面,制备出"黑硅"材料.扫描电子显微镜的测量结果显示在SFa氛围中得到的微结构与空气中的相比,纵横比更大,锥形结构更加完整,表面更光滑,表明背景气体对于表面微结......
[期刊论文] 作者:王文婷, 王德苗, 郑小婵,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2014
利用溅射法制备半导体陶瓷表面的电极有着广阔的产业化前景,但关于溅射膜电极与陶瓷表面的界面机制研究尚鲜有报道。本文采用磁控溅射法在ZnO压敏陶瓷表面制备了Cr+Cu电极,通...
[期刊论文] 作者:周洋,王德苗,金浩,郑小婵,, 来源:激光技术 年份:2014
圆柱形介质加载四臂螺旋天线因宽波束、圆极化、体积小等优点被认为是微小卫星天线的理想方案。为了解决介质加载四臂螺旋天线制作的难点,提出了一种全新的磁控溅射金属化加...
[期刊论文] 作者:郑小婵,王德苗,王文婷,周洋,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2014
分别在空气和SF6环境下,使用波长为1064 nm的半导体微秒脉冲激光器扫描辐照单晶Si制备出微米量级的硅表面微结构,并利用扫描电子显微镜和可见—近红外分光光度计观测激光辐照...
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