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[会议论文] 作者:郑小平[1]张佩峰[2]贺德衍[3]郝远[4],
来源:第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会 年份:2008
以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成...
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