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[会议论文] 作者：刘于金,岑国标,周苏航,郑景博,曾平羊,赵传熙,
来源：粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会 年份：2017
氧化钼薄膜是一种优异的空穴传输材料,其薄膜功函数具有显著的厚度依赖特征.通过精确控制真空热蒸发参数在n-Si微纳结构上沉积超薄氧化钼薄膜,成功构建MoO3-x/n-Si异质结型光电探测器.着重研究了光照强度对探测器光响应性能的影响,结果表明:随着光照强度增加,载......
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