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[学位论文] 作者：郭文泰,,
来源： 年份：2005
近年来,微机械加工技术和微机电系统(MEMS)的迅速发展,为具有广阔应用前景的适用于SOC的微气压传感器的研制奠定了坚实基础。研制一种用于测量微小气压的微加热板式微气压传...
[期刊论文] 作者：郭文泰, 徐徜徉, 单世东,,
来源：化工技术与开发 年份：2013
气体膜分离技术在合成氨生产中得到广泛的应用,其中氢气及氨回收技术已经日趋成熟,而甲烷回收也逐渐得到合成氨厂的重视,膜分离技术日益呈现应用综合化和装置集约化的发展趋...
[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞,
来源：光学精密工程 年份：2004
给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理.分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的...
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