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[期刊论文] 作者：郭辰熹,
来源：城市建设理论研究 年份：2014
摘要：以直流反应磁控溅射方法为制备手段，选择Cr、Al为靶材，以氩气为工作气体，以氮气为反应气体，在纳钙玻璃基底上制备了太阳光谱选择性吸收的薄膜Cr1-xAlxN，使之具有良好的光谱选择吸收特性。研究发现，在其他工艺参数不变的情况下，溅射气压在0.3-0.5Pa范围内，都能制备出......
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