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[期刊论文] 作者：钟砚超,梁静秋,李小奇,李伟,王淑荣,梁中翥,孙德贵,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2007
设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁．为降低驱动电流，选择柔韧性较好的聚酰亚胺（PI）作为梁结构材料，其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现．通过理论计算及有限元模拟仿真对......
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