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[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：1990
本文简述了国外电力电子技术最近的发展概况,讨论了几种电力半导体器件的特点、目前水平、主要用途及今后的发展趋势。...
[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体技术 年份：1995
半导体柔性加工中的设备和工艺技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）钱小工１半导体柔性制造技术与ＭＭＳＴ计划传统的半导体器件和ＩＣ制造大都采用大批量生产的方式，这种方式能实现工艺流程的......
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体技术 年份：1997
汽车电子学的发展概况和主要技术（续）钱小工电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）３．３．４安全装置及其他开关应用中的功率器件要求高可靠性的气囊系统和ＡＢＳ等系统中，必须经常诊断传动装置的状态，在......
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体情报 年份：1996
评述了智能功率技术最近的进展及市场动向，虽然目前的电力半导体芯片都是硅制成的，但最近的分析表明，ＳｉＣ等其他的半导体材料也可能将来会代替硅。...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：电子材料（机电部） 年份：1995
概述了半导体柔性制造技术近年的发展状况，以ＭＭＳＴ为例，介绍了柔性加工中所用的单片加工组合设备、传感器和ＣＩＭ系统。...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体情报 年份：1994
叙述了电力电子器件的发展现状、主要技术和应用状况，并讨论了今后的发展方向。...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体情报 年份：1992
Smart功率技术通过将模拟、逻辑功能和功率输出器件组合在同一芯片上,显示了高度集成化和智能化。本文介绍了Smart功率集成电路的功能、主要技术,并列举实用产品的例子说明其...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体技术 年份：1997
叙述汽车电子学的概况，重点讨论目前国外所进行的主要研究课题及汽车电子学中所用的半导体器件与技术，对未来智能车辆的技术趋势和关键技术作了简要介绍...
[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：1993
最近几年中提出了几种用于光学光刻的新方法，包括移相掩模技术，斜向照明，环形照明，FLEX和Super-FLEX等，这些方法提高了光学投影光刻的分辨率，并改善了一定特征尺寸下的焦深，期望它们......
[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：1992
在目前的64MbDRAM及不久的将来256MbDRAM的研制中,要求能描绘0.5μm以下,即亚半微米的特征尺寸,电子束和x射线光刻已被研究用于这些目的。另外,缩小投影曝光技术由于其...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：电子材料（机电部） 年份：1995
介绍了基本的ＣＯＯ（ｃｏｓｔ ｏｆ ｏｗｎｅｒｓｈｉｐ：占有成本）模型及其扩展的应用，并讨论了在柔性制造环境中的ＣＯＯ问题。...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：电子材料（机电部） 年份：1993
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[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：1989
作为双极型功率MOSFET的IGBT(绝缘栅双极晶体管)即将进入正式实用期,其研究开发也已到了追求极限性能的阶段。在形成沟道的阴极侧使用自对准技术来实现微细化、并使导通电压...
[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：计算机与信息处理标准化 年份：1997
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[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：计算机与信息处理标准化 年份：1997
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[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：计算机与信息处理标准化 年份：1997
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[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：计算机与信息处理标准化 年份：1997
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[期刊论文] 作者：钱小工,
来源：半导体技术 年份：1997
汽车电子学的发展概况和主要技术（续）钱小工电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）３．３．４安全装置及其他开关应用中的功率器件要求高可靠性的气囊系统和ＡＢＳ等系统中，必须经常诊断传动装置的状态，在......
[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：2004
一引言随着微电子器件和集成电路的不断发展,对抗蚀剂性能的要求也不断提高,既要求抗蚀剂具有高分辨率、高灵敏度,又要求与衬底材料有好的附着力,并能耐干法腐蚀。目前所用...
[期刊论文] 作者：钱小工,,
来源：半导体情报 年份：1987
本文除介绍MOCVD的基本反应过程及装置外,将重点讨论用MOCVD生长各种Ⅲ-Ⅴ族半导体的工艺过程、生长参数等,并将介绍用MOCVD方法制成的一些新结构、器件及其性能。In addit...
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