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[学位论文] 作者：闫莉维,
来源： 年份：2015
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,简称SIMS)作为半导体杂质元素定量分析的强有力工具在半导体领域已得到大量应用。目前SIMS的定量分析大都是采用实验标样校准法,其中一种基于标准样品中参考元素的相对灵敏度因子(Relative Sensitivity Factors,......
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