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[期刊论文] 作者：韩世忠,庞庆,严红,陈京会,何林,郑鹏,,
来源：武汉科技大学学报 年份：2008
讨论了在不同基板温度下用等离子体辅助化学气相沉积法生长ZnO薄膜,用X射线衍射(XRD)分析仪、反射式高能电子衍射(RHEED)仪及X射线光电子能谱(XPS)分析ZnO薄膜的特征。分析结...
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