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[期刊论文] 作者：陈晓莉 赵勋 刘志宏 李波,
来源：科学导报·学术 年份：2018
摘 要： 材料溅射实验平台是一种可以产生和维持一直线段稳态等离子体的装置，包含有真空室、磁场部件、以及其他等多个子部件系统。本文主要针对直线等离子体实验装置材料溅射平台的真空室部分进行计算设计分析，并通过有限元分析进行验证计算，以确保真空室的设计结构......
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