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[期刊论文] 作者：李伟 陈朋灿 刘京京,
来源：有色金属材料与工程 年份：2016
摘要： 利用磁控溅射方法，采用不同成分的ZrSi复合靶，在单晶硅基底片上沉积不同Si含量的ZrSiN纳米复合膜.利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM） 和纳米压痕仪等表征测试方法研究了Si含量对ZrSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响......
[期刊论文] 作者：陈朋灿,李伟,卢建富,刘平,张柯,马凤仓,刘新宽,陈小红,何代华,,
来源：功能材料 年份：2015
采用TiSi复合靶和Al靶,用射频磁控溅射工艺沉积不同TiSiN层厚度的AlN/TiSiN纳米多层膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压...
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