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[期刊论文] 作者:陈洁 王保胜 苏金玉, 来源:城市建设理论研究 年份:2014
摘要:通过不同工艺拉制参数和不同冷却方式,研究了单晶头部径向电阻率的均匀性,实验结果表明,提升晶转和埚转后,会使固液界面从下向上运动的高温流增大,起到抑制热对流的作用,提高电阻率的径向均匀性。  关键词:单晶硅棒;电阻率;均匀性  中图分类号:P631文献标识码: A ......
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