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[学位论文] 作者：隋鸿鹏,,
来源： 年份：2008
论文介绍了MEMS技术的发展以及应用领域。并进一步介绍了压阻式传感器的发展。介绍了硅压阻效应的原理,加速度计的工作原理和压阻式传感器的工作方式以及信号输出测试方法。...
[期刊论文] 作者：隋鸿鹏,张威,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2008
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响，采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试．在各步骤热过程后，对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析．通......
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