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[学位论文] 作者：雷鹏立,,
来源：中国工程物理研究院 年份：2019
过去的几十年中,计算机控制表面加工成形技术(computer controlled optical surfacing)已被广泛且成功的运用于光学元器件的制造。而在对大口径望远镜系统、纳米尺度光刻系统和高功率激光系统等典型极端光学制造工程中,其元器件的表面误差是影响整个系统成像和......
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